穿越2018从造光刻机开始

地平线下

首页 >> 穿越2018从造光刻机开始 >> 穿越2018从造光刻机开始最新章节(目录)
大家在看修真四万年 暴君一家读我心声后,将我团宠了 震惊!开局一片地,暴击出奇迹 捡到一个末世世界 开局签到荒古圣体 末世:开局青龙果实 诸天从茅山开始 宿主她又在崩剧情 末世:洗劫海外万亿物资我无敌了 和亲糙汉可汗后,我在草原忙种田 
穿越2018从造光刻机开始 地平线下 - 穿越2018从造光刻机开始全文阅读 - 穿越2018从造光刻机开始txt下载 - 穿越2018从造光刻机开始最新章节 - 好看的科幻小说小说

第36章 EUV光源

上一章书 页下一章阅读记录

“我叫路阳,马路的路,阳光的阳!”

路阳脸上一直挂着微笑,没有一点几百亿企业老板的气场,反而更像高校里跟着教授跑腿的研究生。

介绍完自己,接着又说道:“半导体芯片直接决定着一个国家的科技发展,不能被任何个人、企业把控,也不能被西方欧米势力卡住要害,华芯的目标便是要在5年内,让华国半导体芯片实现完全自主化研发,在技术上实现全球第一。”

“我能为各位提供的就是资金保障,市场保障,以及落地应用方面的整合。”

廖锡昌也是第一次听到路阳的目标,老人轻轻点头,他是真的把路阳当成了自己的学生,华芯如今的成绩已经足够亮眼,但他从未在路阳身上发现半点自满。

“说得好,路总!”专家组中有人说道。

“行了,还是叫他小路吧,华芯在申城松江那边的光刻机生产线计划投入500亿,从立项开始就是为了自主化研发,中芯国际的情况不能再次出现,动不动就被别人禁这禁那的。”

廖锡昌说完又看向新来的4人,“四位都说说看吧,一下午的时间,应该了解得差不多了。”

柴文政年纪最大,率先开口:“廖老,各位前辈,路……,小路,大家好,在离子束抛光技术上,要想实现0.02纳米的光滑级别,以现在长春光机所的设备还不够,需要从所里那边调配几台设备过来。”

“目前23所在0.1纳米抛光技术上已经有所突破,但是从0.1纳米到0.02纳米,还需时间进行验证,专利部分不用担心,所里的设备拥有完整的专利壁垒。”

“我补充一点,光是设备还不够,只有结合镀膜技术才有机会突破1纳米,所里这方面的技术还没达到资料上的水平,好在资料的内容十分详细,完全掌握不会太久,廖老,这份资料的镀膜技术23所那边可以使用吗?”

丁冉补充说道,如果获得这份技术授权,23所也会受益匪浅。

廖锡昌开口道:“小丁啊,难就难在这点,你不光要掌握,还要加入自己的东西,才能使用。”

这样一解释丁冉明白过来,看来自己猜得不错,这份绝密的技术文件,应该就是来自路阳的公司,至于获取方式嘛,商业上的行为可就多了,她也懒得去追根问底。

“明白了,廖老,我大概有方向如何解决这个问题,只是所花费的时间会比原来长些,可能还得从所里把我们两人的助手要过来。”

23所这边一个下午时间,便有了大概的方向,实力果然强啊,路阳心里这样想着,不由看向大连光源那边。

周宇跟纪益玲是在座的众人中除了路阳外年纪最小的,说话非常客气,“各位领导,我跟益玲正巧是研究紫外光的,方向也确实在光刻机的应用上。”

光刻机分为紫外光源(UV)、深紫外光源(dUV)、极紫外光源(EUV)。

最早的光刻机光源为汞灯产生的紫外光源(UV),之后业内开始采用准分子激光的深紫外光源(dUV),将波长进一步缩小到ArF的193 nm,后来逐步发展为ArF加浸入技术成为主流。

EUV光刻技术不使用用ArF加浸入技术,而是将二氧化碳激光照射在液态金属锡上,激发出13.5 nm的光子,作为光刻机光源。

周宇先简要介绍了下光刻机的两种光源,接着又说道:

“EUV光源由光的产生、光的收集、光谱的纯化与均匀化三大单元组成。相关的工作元器件主要包括大功率co2激光器、多层涂层镜、负载、光收集器、掩膜板、投影光学系(xe或Sn)形成等离子体,等离子体利用多层膜反射镜多次反射净化能谱,最终获得13.5nm的EUV光。”

“资料中光的产生是激光等离子体光源(Lpp),目前只有两家公司能够生产:一家是米国的cymer,另外一家是日本的Gigaphoton。大连光源也有能产生离子体光源的激光器,但现在我们这边最先进的激光器所产生的光源功率还不够,就算镜片研制成功,多次反射后也只剩下2%的光能,所以对光源功率要求极高。”

纪益玲继续翻看资料,“各位领导,结合资料中的技术来改进我们的激光器,可以达到要求,现在镜片还没生产出来,我们只能按资料里的数字要求来做,不过得回到大连光源那边才能改进。”

“另外在光的纯化与均匀化方面,激光器里面出来的光虽然纯度足够,但不均匀,这样投射到晶圆上会造成各个地方的cd不一致,必须加入反射,资料中使用的是一种特殊的玻璃长方体来完成均匀化。”

白学礼教授作为长春光机所的技术负责人,对两人所说非常清楚,“小周、小纪,光源及照明系统的整体设计由我们这边来完成,你们主要负责光源部分,相信这些资料能给大连光源带来启发,但是中间的配合,分隔两地效率太低了。”

说完白学礼看向廖锡昌,意思再明显不过。

廖锡昌思索片刻,“我会跟大连光源这边联系,把你们所需的东西搬过来,还是那句话,你俩得保障,一旦市场化,其中的技术一定要能绕开资料里的专利。”

两人纷纷点头,无条件配合,来之前大连光源的领导可是再三强调过的。

“老白,你看这样,先按资料中的技术,把框架搭起来,能替代的先替代,不能替代的想办法购买,或者从其他地方调过来,但是框架必须有70%以上的设备到位,还要能运行起来,你预估这要花多长时间?”

白学礼想了下,“我列个清单,还需要的设备你去想办法,时间取决于设备弄到的时间。”

路阳却在沉思,大连光源是国家重大科技基础设施,能不能趁这次机会,放出部分技术,成为华国的光源提供商,这个事情得推进下,华芯与大连光源联合成立新的公司,这样方便以后的市场化。

特么,果然又要开支线!

上一章目 录下一章存书签
站内强推十日终焉 不要在垃圾桶里捡男朋友[快穿] 福艳之都市后宫 御女天下 牧神记 都市极乐后后宫 你却爱着一个傻逼 舔狗反派只想苟,女主不按套路走! 晚明 龙魂侠影 亘古大帝 重生香港之娱乐后宫 四合院:咸鱼的美好生活 逍遥四公子 官道之色戒 田野花香 天才医生 邪气凛然 神话版三国 百世求仙 
经典收藏末世,开局获得抓捕女奴系统 属性无限暴涨,我横压多元 抗战亮剑百倍还现鬼子被我弄疯了 影视从小欢喜开始 影视都市从四合院开始 我在末世打造女神天团 末日崛起 末日重生:每天签到物资用不完 精灵:我有一个万界垃圾场 全球废土:避难所无限升级 末世又如何,我带闺蜜肆意生活 快穿女配:反派BOSS有毒 让你乖乖躺平,你却杀穿末世? 四合院:开局秦淮如送上门 末世!无敌系统送九层楼超市 龙族:人在黑天鹅港,开局诱骗零 赵沐阳的文玩人生 诸天之我是传奇 末世枭雄:我?收留校花就变强? 红楼之庶子称雄 
最近更新末世,我创造了僵尸军团 我在末日打造基地 末世降临:从拿回空间开始 盗笔之穿越废土碰到了嫩牛五方 末世之尸海人途 星穹觉醒 无敌幸运!我横扫末世躺赢成神! 星战3030:地球的至暗与黎明 灵蕴量子:纠缠纪元 末日:异能之星辰开启 末世重生丧尸为王 墨染尖塔:并非独自前行! 我为觉醒者,勇闯末世 末世,我,只想保护家人! 末世妖灾:从组建美女军团开始 求生:榜一她每时每刻都在赚钱! 深山里的修炼师 全身瘫痪的我在末世重获新生 【万亿诡豪:我的阴兵无尽】 星盗联盟 
穿越2018从造光刻机开始 地平线下 - 穿越2018从造光刻机开始txt下载 - 穿越2018从造光刻机开始最新章节 - 穿越2018从造光刻机开始全文阅读 - 好看的科幻小说小说