穿越2018从造光刻机开始

地平线下

首页 >> 穿越2018从造光刻机开始 >> 穿越2018从造光刻机开始最新章节(目录)
大家在看天灾第十年跟我去种田 军婚:医学天才在七零靠空间开挂 震惊!开局一片地,暴击出奇迹 捡到一个末世世界 末世天灾:我囤积了万亿物资 冰河降临:开局获得物品复制 全位面都跪求反派女主做个人 宿主她又在崩剧情 风起龙城 每天都离现形更近一步 
穿越2018从造光刻机开始 地平线下 - 穿越2018从造光刻机开始全文阅读 - 穿越2018从造光刻机开始txt下载 - 穿越2018从造光刻机开始最新章节 - 好看的科幻小说小说

第36章 EUV光源

上一章书 页下一章阅读记录

“我叫路阳,马路的路,阳光的阳!”

路阳脸上一直挂着微笑,没有一点几百亿企业老板的气场,反而更像高校里跟着教授跑腿的研究生。

介绍完自己,接着又说道:“半导体芯片直接决定着一个国家的科技发展,不能被任何个人、企业把控,也不能被西方欧米势力卡住要害,华芯的目标便是要在5年内,让华国半导体芯片实现完全自主化研发,在技术上实现全球第一。”

“我能为各位提供的就是资金保障,市场保障,以及落地应用方面的整合。”

廖锡昌也是第一次听到路阳的目标,老人轻轻点头,他是真的把路阳当成了自己的学生,华芯如今的成绩已经足够亮眼,但他从未在路阳身上发现半点自满。

“说得好,路总!”专家组中有人说道。

“行了,还是叫他小路吧,华芯在申城松江那边的光刻机生产线计划投入500亿,从立项开始就是为了自主化研发,中芯国际的情况不能再次出现,动不动就被别人禁这禁那的。”

廖锡昌说完又看向新来的4人,“四位都说说看吧,一下午的时间,应该了解得差不多了。”

柴文政年纪最大,率先开口:“廖老,各位前辈,路……,小路,大家好,在离子束抛光技术上,要想实现0.02纳米的光滑级别,以现在长春光机所的设备还不够,需要从所里那边调配几台设备过来。”

“目前23所在0.1纳米抛光技术上已经有所突破,但是从0.1纳米到0.02纳米,还需时间进行验证,专利部分不用担心,所里的设备拥有完整的专利壁垒。”

“我补充一点,光是设备还不够,只有结合镀膜技术才有机会突破1纳米,所里这方面的技术还没达到资料上的水平,好在资料的内容十分详细,完全掌握不会太久,廖老,这份资料的镀膜技术23所那边可以使用吗?”

丁冉补充说道,如果获得这份技术授权,23所也会受益匪浅。

廖锡昌开口道:“小丁啊,难就难在这点,你不光要掌握,还要加入自己的东西,才能使用。”

这样一解释丁冉明白过来,看来自己猜得不错,这份绝密的技术文件,应该就是来自路阳的公司,至于获取方式嘛,商业上的行为可就多了,她也懒得去追根问底。

“明白了,廖老,我大概有方向如何解决这个问题,只是所花费的时间会比原来长些,可能还得从所里把我们两人的助手要过来。”

23所这边一个下午时间,便有了大概的方向,实力果然强啊,路阳心里这样想着,不由看向大连光源那边。

周宇跟纪益玲是在座的众人中除了路阳外年纪最小的,说话非常客气,“各位领导,我跟益玲正巧是研究紫外光的,方向也确实在光刻机的应用上。”

光刻机分为紫外光源(UV)、深紫外光源(dUV)、极紫外光源(EUV)。

最早的光刻机光源为汞灯产生的紫外光源(UV),之后业内开始采用准分子激光的深紫外光源(dUV),将波长进一步缩小到ArF的193 nm,后来逐步发展为ArF加浸入技术成为主流。

EUV光刻技术不使用用ArF加浸入技术,而是将二氧化碳激光照射在液态金属锡上,激发出13.5 nm的光子,作为光刻机光源。

周宇先简要介绍了下光刻机的两种光源,接着又说道:

“EUV光源由光的产生、光的收集、光谱的纯化与均匀化三大单元组成。相关的工作元器件主要包括大功率co2激光器、多层涂层镜、负载、光收集器、掩膜板、投影光学系(xe或Sn)形成等离子体,等离子体利用多层膜反射镜多次反射净化能谱,最终获得13.5nm的EUV光。”

“资料中光的产生是激光等离子体光源(Lpp),目前只有两家公司能够生产:一家是米国的cymer,另外一家是日本的Gigaphoton。大连光源也有能产生离子体光源的激光器,但现在我们这边最先进的激光器所产生的光源功率还不够,就算镜片研制成功,多次反射后也只剩下2%的光能,所以对光源功率要求极高。”

纪益玲继续翻看资料,“各位领导,结合资料中的技术来改进我们的激光器,可以达到要求,现在镜片还没生产出来,我们只能按资料里的数字要求来做,不过得回到大连光源那边才能改进。”

“另外在光的纯化与均匀化方面,激光器里面出来的光虽然纯度足够,但不均匀,这样投射到晶圆上会造成各个地方的cd不一致,必须加入反射,资料中使用的是一种特殊的玻璃长方体来完成均匀化。”

白学礼教授作为长春光机所的技术负责人,对两人所说非常清楚,“小周、小纪,光源及照明系统的整体设计由我们这边来完成,你们主要负责光源部分,相信这些资料能给大连光源带来启发,但是中间的配合,分隔两地效率太低了。”

说完白学礼看向廖锡昌,意思再明显不过。

廖锡昌思索片刻,“我会跟大连光源这边联系,把你们所需的东西搬过来,还是那句话,你俩得保障,一旦市场化,其中的技术一定要能绕开资料里的专利。”

两人纷纷点头,无条件配合,来之前大连光源的领导可是再三强调过的。

“老白,你看这样,先按资料中的技术,把框架搭起来,能替代的先替代,不能替代的想办法购买,或者从其他地方调过来,但是框架必须有70%以上的设备到位,还要能运行起来,你预估这要花多长时间?”

白学礼想了下,“我列个清单,还需要的设备你去想办法,时间取决于设备弄到的时间。”

路阳却在沉思,大连光源是国家重大科技基础设施,能不能趁这次机会,放出部分技术,成为华国的光源提供商,这个事情得推进下,华芯与大连光源联合成立新的公司,这样方便以后的市场化。

特么,果然又要开支线!

上一章目 录下一章存书签
站内强推十日终焉 赵氏嫡女 福艳之都市后宫 玄鉴仙族 明星系列多肉小说 我师兄实在太稳健了 绍宋 都市皇宫 龙魂侠影 陛下不可以! 病案本 很纯很暧昧 诡舍 万相之王 都重生了谁谈恋爱啊 御心香帅 舔狗反派只想苟,女主不按套路走! 雅骚 第九特区 谢家的短命鬼长命百岁了 
经典收藏末世,开局获得抓捕女奴系统 属性无限暴涨,我横压多元 抗战亮剑百倍还现鬼子被我弄疯了 影视从小欢喜开始 让你修机甲,你直接换了台新的? 成神风暴 囤积亿万血肉,我进化成最强尸王 末日崛起 龙珠开局,寻爱超神,漫游诸天! 全球废土:避难所无限升级 末世又如何,我带闺蜜肆意生活 快穿女配:反派BOSS有毒 让你乖乖躺平,你却杀穿末世? 四合院:开局秦淮如送上门 末世!无敌系统送九层楼超市 龙族:人在黑天鹅港,开局诱骗零 赵沐阳的文玩人生 废土之上,我拖家带口去拾荒! 穿呀主神 土豪美利坚 
最近更新快穿之拯救反叛魔神徒弟 末世我在城郊别墅种田囤物 穿书后,向导在艰难求生! 冰川纪元:我培养了绝世女皇 万界时空门 抱歉,我们队长她是六边形战士 禁欲上将别咬,较软人鱼顶级暴徒 末日重生之我做丧尸之王 绿茶宿主好妖娆,绝嗣男主轻诱哄 让你修机甲,你整出了SSS级星际传奇? 武道:吞噬世界之星耀宇宙 穿越末世,我的技能是召唤蛋仔 带着女儿求生存 双异能开局:我将成为末世之王 瀚星云渡 末世,绑定女神系统的我爽到了 超创无敌 归零者之歌 末世组建战队,从美女校花开始 星际军校:天才指挥会发疯 
穿越2018从造光刻机开始 地平线下 - 穿越2018从造光刻机开始txt下载 - 穿越2018从造光刻机开始最新章节 - 穿越2018从造光刻机开始全文阅读 - 好看的科幻小说小说